1. 研究目的与意义(文献综述包含参考文献)
文 献 综 述1.研究背景及意义由于大气环境污染问题日益突出 ,准确监测获取环境组分信息十分重要,精准监控获取大气信息的要求被广泛提及。
大气探测的有效手段正是光谱探测技术,其目前正在朝着多波段融合、多领域应用方向发展,因此对光谱探测器的探测精度与响应灵敏度要求也越来越高。
作为紫外-红外集成探测器的关键元件,高性能的光学薄膜是实现其功能的重要保障之一。
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2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案
1. 依据材料光学特性、机械特性以及折射率匹配性能,选择合适的基底材料与高低折射率薄膜材料。
根据单层膜透射率曲线,结合折射率计算方法,准确反演拟合材料的光学常数。
2. 对上述所选用的原料进行研究,综合考虑基底温度、材料蒸发速率、离子辅助沉积、真空度等工艺参数对薄膜性能的影响,对原料参数进行分析与修正研究,确定合适的制备工艺。
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