1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）
文 献 综 述能源是人类经济发展永恒的话题，从最早石器时代人们便开始了对木材和石材的利用，到后来封建王朝开采和运用铁矿，再到近现代对煤矿、石油等能源的利用。
而且随着经济的持续发展，世界对能源的需求在未来预计还会继续增加[1]。
而煤炭、石油等资源终究是有限的，且附带有极高的污染。
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2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案
1. 掌握以RCA1，RCA2以及HF为主体的n型单晶硅片的表面清洗手段。
2. 以PECVD、ALD或其它相关方法对硅表面进行钝化膜沉积，主要使用主流材料如a-Si，AlOx，SiNx等。
3. 选择合适的方法完成电池其他功能层的制备，形成完整光伏器件。
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